| Naslov: | Oxygen atom density in a large reactor powered by four inductively coupled plasma sources |
|---|
| Avtorji: | ID Primc, Gregor, Institut "Jožef Stefan" (Avtor)
ID Lojen, Dane, Institut "Jožef Stefan" (Avtor)
ID Vesel, Alenka, Institut "Jožef Stefan" (Avtor)
ID Mozetič, Miran, Institut "Jožef Stefan" (Avtor)
ID Zaplotnik, Rok, Institut "Jožef Stefan" (Avtor) |
|---|
| Datoteke: |  PDF - Predstavitvena datoteka, prenos (3,60 MB)
MD5: 571A9EB67A6F3D69797F82D56B821641
|
|---|
| Jezik: | Angleški jezik |
|---|
| Tipologija: | 1.01 - Izvirni znanstveni članek |
|---|
| Organizacija: |  IJS - Institut Jožef Stefan
|
|---|
| Status publikacije: | Objavljeno |
|---|
| Verzija publikacije: | Objavljena publikacija |
|---|
| Poslano v recenzijo: | 08.12.2021 |
|---|
| Datum sprejetja članka: | 17.02.2022 |
|---|
| Datum objave: | 22.02.2022 |
|---|
| Založnik: | Elsevier |
|---|
| Leto izida: | 2022 |
|---|
| Št. strani: | str. 110964-1-110964-7 |
|---|
| Številčenje: | Vol. 199 |
|---|
| Izvor: | Nizozemska |
|---|
| PID: | 20.500.12556/DiRROS-24042  |
|---|
| UDK: | 533 |
|---|
| ISSN pri članku: | 0042-207X |
|---|
| DOI: | 10.1016/j.vacuum.2022.110964 |
|---|
| COBISS.SI-ID: | 99387395 |
|---|
| Avtorske pravice: | © 2022 The Authors. |
|---|
| Datum objave v DiRROS: | 10.11.2025 |
|---|
| Število ogledov: | 135 |
|---|
| Število prenosov: | 46 |
|---|
| Metapodatki: |    |
|---|
|
:
|
Kopiraj citat |
|---|
| | | | Objavi na: |  |
|---|
Postavite miškin kazalec na naslov za izpis povzetka. Klik na naslov izpiše
podrobnosti ali sproži prenos. |
