Oxygen atom density in a large reactor powered by four inductively coupled plasma sourcesPrimc, Gregor (Avtor) Lojen, Dane (Avtor) Vesel, Alenka (Avtor) Mozetič, Miran (Avtor) Zaplotnik, Rok (Avtor) Elsevier20222025-11-10 09:01:40Neznano24042UDK: 533ISSN pri članku: 0042-207XDOI: 10.1016/j.vacuum.2022.110964COBISS_ID: 99387395Nizozemskasl© 2022 The Authors.